无篮式湿法设备

  技术特点 Features  

· PR stripper，
，Nit Stripper,
，
，，Pre-Clean，，B-Clean，，，，Metal etching，，Recycle，，Post CMP clean, EKC stripper，
，Post Ash Polymer Removal .

· PA adder, 0.16um <10ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.